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X射线光电子能谱仪的用途有哪些?

发布时间:2022-08-31 点击次数:180

X射线光电子能谱仪(XPS)基于光电效应,采用X射线激发被测样品表面纳米尺度内的原子发射光电子,通过系统探测其所发射光电子的动能等信息,进而实现样品表面的元素组成及化学键状态的定性和定量分析,能进行最外层表面区域的分析,能进行除H和He以外所有元素的分析,灵敏度高,具备化学组成、价态、深度剖析及成像、功函数特性的分析与表征功能。

X射线光电子能谱仪

XPS是当代谱学领域中最活跃的分支之一, 虽然只有十几年的历史, 但其发展速度很快,在电子工业、 化学化工、 能源、 冶金、 生物医学和环境中得到了广泛应用。 除了可以根据测得的电子结合能确定样品的化学成份外, XPS最重要的应用在于确定元素的化合状态。

 

XPS主要用途

1) 固体样品的表面组成分析, 化学状态分析。

2) 元素成分的深度分析( 角 分辨方式、 氩离子或C60刻蚀方式)。 深度分析适

合研究: 纳米薄膜材料, 微电子材料, 催化剂, 摩擦化学, 高分子材料的表面和界

面研究。

(3) 可进行样品表面的微区分析, 分析面积可小至 10 nm。

 

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